半導體製造解決方案

半導體設備精密零件
快速打樣與製造

CNC精密加工、3D列印與快速打樣,服務半導體製造設備、IC封裝治具、晶圓搬運系統,以及各類無塵室相容工具零件。

300+
半導體專案交付實績
±0.05mm
無塵室級別公差
4
廠房 台灣・中國・泰國
7–14
天典型交期
📋
詢價與DFM審查
3D圖檔 → 報價
⚙️
CNC精密加工
3/5軸 · ±0.05mm
🖨️
SLA / SLS 3D列印
快速打樣
🔬
無塵室相容材料
SiC · PEEK · AL6061 · PTFE
放電加工 EDM
硬金屬精密零件
🔩
治具夾具製作
晶圓搬運系統
🎨
表面處理
陽極・鈍化・電解拋光
🔍
CMM 尺寸全檢
三次元量測
📦
無塵室包裝出貨
全球配送
📋
詢價與DFM審查
3D圖檔 → 報價
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CNC精密加工
3/5軸 · ±0.05mm
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SLA / SLS 3D列印
快速打樣
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無塵室相容材料
SiC · PEEK · AL6061 · PTFE
放電加工 EDM
硬金屬精密零件
🔩
治具夾具製作
晶圓搬運系統
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表面處理
陽極・鈍化・電解拋光
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CMM 尺寸全檢
三次元量測
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無塵室包裝出貨
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實績案例

半導體設備零件實際交付成果

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IDMockup 光罩盒 Reticle SMIF Pod 半導體設備精密加工零件
光罩盒 Photomask Pod CNC精密加工零件
IDMockup 晶圓匣 Wafer Carrier Cassette 半導體設備精密零件
晶圓匣 Wafer Cassette CNC精密加工零件
IDMockup 晶圓環 Wafer Ring 半導體設備精密金屬零件
晶圓環 Wafer Ring 高精度金屬零件
IDMockup 末端執行器 End Effector 晶圓搬運機械手臂
晶圓搬運 End-Effector 機械手臂精密零件
IDMockup FOUP FOSB 晶圓傳輸盒蓋半導體設備零件
FOUP / FOSB 蓋板 設備結構零件
為什麼重要

半導體設備團隊為何需要精密打樣服務

🔬

設備設計驗證

在投入昂貴量產前,驗證CNC加工的腔體零件、機械手臂末端執行器與晶圓匣幾何尺寸是否符合圖面公差要求。

🏭

治具夾具快速打樣

快速完成晶圓搬運治具、燒機測試板、IC插座框架與測試夾具的打樣,縮短設備認證週期數週。

🌡️

熱性能與機械強度測試

在模擬製程條件下,驗證腔體零件的熱均勻性、機械應力承受能力與真空氣密性。

⚗️

IC封裝設計驗證

以精密金屬與塑膠模型測試IC封裝設計、散熱路徑與電氣連接穩定性,在正式開模前確認設計正確性。

🎯

超嚴格公差零件

半導體設備要求±0.05mm甚至更嚴格的公差。我們的5軸CNC加工中心與放電加工機,能穩定達到您製程所需的尺寸精度。

📋

認證與稽核樣品

提供尺寸全檢的認證樣品,支援設備驗收(Qualification)、供應商稽核,以及無塵室廠端的OEM核准流程。

應用領域

半導體製造設備應用範圍

從前段製程(FEOL)微影設備到後段IC封裝——我們加工、列印並製造讓晶圓廠持續運轉的每一個精密零件。

01

晶圓搬運與傳輸

末端執行器(End-Effector)、晶圓匣、FOUP門機構、機械手臂零件——採用AL6061、SUS304或PEEK精密加工,符合無塵室相容性要求。

末端執行器FOUP晶圓匣機械手臂
02

IC封裝與測試

IC插座框架、燒機測試板、BGA治具與封裝模具——公差達±0.05mm,在正式開硬模前完整驗證封裝設計。

IC插座燒機治具BGA測試封裝模具
03

微影設備零件

光罩台零件、鏡筒支架、EUV/ArF曝光單元框架——以鋁合金或鈦合金加工,達次微米幾何精度。

光罩台鏡筒支架EUV零件ArF設備
04

CVD / PVD 薄膜沉積設備

基座(Susceptor)、噴淋頭(Shower Head)、氣體分配板與反應腔體內襯——採用AL6061、SiC或石英相容材料,確保高溫製程穩定性。

基座 Susceptor噴淋頭腔體內襯氣體分配板
05

CMP 研磨平坦化工具

研磨頭零件、漿料輸送環、固定環(Retaining Ring)與修整碟支架——依精確同心度與平面度要求製造。

研磨頭固定環漿料輸送CMP零件
06

後段封裝設備

晶粒接合吸嘴(Collet)、打線毛細管、覆晶治具與切割膠帶框架——快速打樣,數日內交件,支援後段製程開發。

晶粒接合打線製程覆晶治具切割框架
製造能力

一站式半導體製造服務

⚙️

CNC精密加工

3/5軸銑削與車削,公差達±0.05mm。AL6061、SUS304、陶瓷、PEEK均可加工,適用於半導體製程設備。

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放電加工(EDM)

線切割與沉入式放電加工,複雜輪廓硬金屬零件無毛刺精密成型,適用於半導體工具製作。

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🖨️

3D列印(SLA/SLS/FDM)

工程樹脂與耐隆材料快速成形治具原型,在CNC量產前快速驗證配合、形狀與功能。

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🧪

真空澆注(軟模具)

矽膠軟模澆注,適合5–50件IC封裝治具、測試轉接器與搬運托盤原型量製作。

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💉

反應射出成型 RIM

中量RIM成型,50–5,000件半導體設備外殼與晶圓搬運托盤,成本效益最佳。

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🔩

鋁壓鑄

高壓鋁壓鑄製造散熱片、設備機架與半導體工具結構零件,ADC12、AL6061可選。

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🏗️

快速模具與射出成型

橋接模具比傳統硬模縮短數週——最適合量產前的設計驗證與小批量試製。

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📐

3D掃描與逆向工程

將老舊半導體工具高精度掃描並數位化,重新生成磨損或停產設備零件的製造圖面。

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材料與規格

無塵室相容材料與公差

半導體製程對材料的化學耐蝕性、熱穩定性與零污染要求極為嚴苛。我們備料並加工您的晶圓廠指定等級材料。

AL6061AL7075SUS304 SUS316陶瓷 CeramicPEEK PTFEPOM SiCAlSiC
表面處理選項
硬陽極處理(Type III) 鈍化處理 電解拋光 鍍鎳 鐵氟龍塗層 EDX無污染驗證
關鍵規格
CNC 公差
±0.05mm
表面粗糙度
Ra 0.4μm
最大件尺寸
1,200mm
交期
7–14 天
污染管制

供應無塵室環境的零件均經去毛刺、超音波清洗,並以ISO等級無塵袋封裝。材料認證書與尺寸檢驗報告可依需求提供。

服務流程

從圖面到交件 — 五個步驟

01

詢價

提供3D圖面或樣品,24小時內收到詳細報價與交期確認。

02

DFM審查

工程師分析公差、材料選擇與表面規格,加工前排除所有風險。

03

精密加工

CNC、放電加工或3D列印開始生產,全程即時追蹤製造進度。

04

表面處理

依規格執行陽極處理、鈍化或電解拋光等後處理工序。

05

CMM全檢與出貨

三次元量測機全尺寸確認,無塵室包裝後準時全球配送。

全球電子與半導體品牌的信賴夥伴

Dell 群光電子 Chicony 精英電腦 ECS 光寶科技 Lite-On 技嘉科技 Gigabyte 鴻海精密 Foxconn 緯創資通 Wistron
開始您的專案

準備好加工您的下一個
半導體設備精密零件了嗎?

傳送3D圖面或技術規格,我們的半導體製造團隊將在24小時內回覆詳細報價——包含材料選擇建議、公差確認與生產時程。

半導體製造設備零件打樣與精密加工 — IDMockup

IDMockup 是專精於半導體製造設備零件、治具與原型製作的精密製造公司,總部位於台灣台北,在東莞、崑山及泰國設有生產基地。我們為全球半導體設備OEM廠商與晶圓廠供應CNC加工零件、放電加工工具與3D列印原型。半導體設備零件製造能力涵蓋晶圓搬運末端執行器、IC封裝測試治具、CVD/PVD腔體零件、CMP研磨工具、微影設備支架以及後段封裝製程治具。材料包含AL6061、SUS304/316、PEEK、PTFE、SiC及陶瓷——全數無塵室相容,並附完整材料認證書。受到Dell、群光、精英、光寶、技嘉、鴻海及緯創等全球電子大廠信賴,我們的半導體精密加工服務支援設備資格認證、試產驗證與備用零件即時供貨。

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